4月25日，半導(dǎo)體設(shè)備公司沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司（芯源微，688037）披露2023年第一季業(yè)績(jī)，期內(nèi)營(yíng)收2.88億元，同比增長(zhǎng)56.89%，歸母凈利6597.74萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)103.55%。

芯源微表示，營(yíng)收增長(zhǎng)主要系半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)景氣度持續(xù)，公司收入規(guī)模持續(xù)增長(zhǎng)所致；而凈利潤(rùn)增長(zhǎng)主要系報(bào)告期內(nèi)公司銷售收入增加及嵌入式軟件產(chǎn)品退稅到賬款增加所致。

芯源微主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠 /顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）及6英寸及以下單晶圓處理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等環(huán)節(jié)）。

由于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)擴(kuò)建產(chǎn)能，A股半導(dǎo)體設(shè)備公司一季度業(yè)績(jī)表現(xiàn)靚麗。

之前，北方華創(chuàng)（002371）一季度預(yù)計(jì)營(yíng)收36億元-40億元，同比增長(zhǎng)68.56%-87.29%。預(yù)計(jì)歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)5.6億元-6.2億元，同比增長(zhǎng)171.24%-200.30%。

芯源微2022年全年業(yè)績(jī)也表現(xiàn)靚麗。2022年公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入13.8億元，同比增長(zhǎng)67.12%；歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)2.0億元，同比增長(zhǎng)158.77%，經(jīng)營(yíng)性凈現(xiàn)金流1.93億元，同比大幅由負(fù)轉(zhuǎn)正。

芯源微披露，2022年公司全年新簽訂單約22億元，再創(chuàng)歷史新高，其中前道產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了快速放量。

4月25日，芯源微在回復(fù)投資者提問(wèn)時(shí)稱，2022年第四季度，公司首臺(tái)浸沒(méi)式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)在國(guó)內(nèi)某知名客戶處完成驗(yàn)證，已順利實(shí)現(xiàn)驗(yàn)收。浸沒(méi)式機(jī)臺(tái)的推出，標(biāo)志著公司前道涂膠顯影設(shè)備已完成在晶圓加工環(huán)節(jié)28nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)全覆蓋，并可持續(xù)向更高工藝等級(jí)迭代。目前國(guó)內(nèi)前道涂膠顯影設(shè)備市場(chǎng)仍然被日本東京電子高度壟斷，隨著公司產(chǎn)品的不斷成熟，市場(chǎng)份額有望實(shí)現(xiàn)快速提升。在產(chǎn)能準(zhǔn)備方面，公司沈陽(yáng)飛云路產(chǎn)能持續(xù)飽滿；沈陽(yáng)彩云路一期已于2022年上半年投入使用，目前產(chǎn)能飽滿，上海臨港廠區(qū)已于2023年1月完成主體建設(shè)封頂并爭(zhēng)取盡快投入使用，整體來(lái)看公司產(chǎn)能準(zhǔn)備較為充沛。

在清洗技術(shù)上，芯源微回復(fù)投資者表示，公司已掌握清洗領(lǐng)域多項(xiàng)核心技術(shù)，在晶圓正反面顆粒清洗、化學(xué)藥品精確供給及回收、內(nèi)部微環(huán)境精確控制等技術(shù)方面已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。近年來(lái)公司生產(chǎn)的前道物理清洗機(jī)、后道濕法類設(shè)備已成為國(guó)內(nèi)主流產(chǎn)品，公司后續(xù)也將推出化學(xué)清洗機(jī)產(chǎn)品，進(jìn)一步豐富產(chǎn)品線。

截至25日收盤，芯源微報(bào)收293.90元，漲幅1.35%。