中微公司 視覺中國 資料圖

2月27日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（下稱“中微公司”，688012）發布2022年度業績快報。該公司營業總收入為47.40億元，和上年同期相比（同比）增加52.50%；歸屬于母公司所有者的凈利潤為11.70億元，同比增加15.66%；歸屬于母公司所有者的扣除非經常性損益的凈利潤為9.19億元，同比增加183.44%。

中微公司稱，公司從2012年到2022年十年的平均年營業收入一直保持了高于35%的增長率。此次營業收入較上年同期增長52.50%，再創歷史新高。該公司在2022年新簽訂單金額約63.2億元，較2021年增加約21.9億元，同比增加約53.0%，訂單銷售比達到1.33。

中微公司主打產品為等離子體刻蝕設備，該設備是除光刻機以外最關鍵的微觀加工設備，也是制程步驟最多、工藝過程開發難度最高的設備。公告中提到，半導體微觀加工設備作為數碼產業的基石，是發展集成電路和數碼產業的關鍵，已成為人們最關注的硬科技產業之一。

公告稱，由于光刻機的波長限制和2維芯片到3維芯片的發展，等離子體刻蝕設備越來越成為卡脖子的設備，也成為十大類關鍵設備市場最大的一類，占半導體前道設備總市場的約25%。公司還布局薄膜設備（主要是化學薄膜和外延設備），這也是除光刻機和刻蝕機外第三大設備市場。此外，中微公司還通過投資布局了第四大設備市場，即光學檢測設備。

公司另一個主打產品MOCVD(金屬有機化合物化學氣相沉積)設備是三五族化合物半導體制造的最關鍵的核心設備。中微公司稱，這種高端外延設備從照明，向大面積顯示屏、功率器件、微顯示等新興領域迅速擴展，市場領域擴展迅猛。

據公告數據，截至2022年底，中微公司累計已有3311臺等離子體刻蝕和化學薄膜的反應臺，在國內、亞洲和歐洲的106條生產線，全面實現了量產和大量重復性銷售。

中微公司在公告中表示，今后公司將繼續瞄準世界科技前沿，堅持三維發展戰略，持續鍛造并提升經營管理能力，降低國際科技和貿易摩擦、半導體行業周期等因素影響，實現高速、穩定、健康和安全的發展。

中微公司是一家以中國為基地、面向全球的高端半導體微觀加工設備公司，是我國集成電路設備行業的領先企業。該公司創始人尹志堯博士在半導體芯片和設備產業目前已有近40年行業經驗，是國際等離子體刻蝕技術發展和產業化的重要推動者。其他聯合創始人、核心技術人員和重要的技術、工程人員，包括杜志游、倪圖強、麥仕義、楊偉、李天笑等160多位各專業領域的專家，其中很多是在國際半導體設備產業耕耘數十年，為行業發展做出杰出貢獻的資深技術和管理專家。

中微公司目前聚焦用于集成電路、LED芯片等微觀器件領域的等離子體刻蝕設備、深硅刻蝕設備和MOCVD設備等關鍵設備的研發、生產和銷售。2019年7月22日，中微公司成為科創板首批上市企業。