·微納加工技術是衡量國家高端制造業水平的標志之一，柔性微納制造技術是信息芯片、新型裝備、光電器件的源頭性基礎技術。

·學科交叉有利于創新，解決卡脖子難題。要在結合自身特長、保持核心競爭力的基礎上選擇熱愛的科研方向，找到科研的意義，才能夠長期堅持坐冷板凳。

胡開明在加州大學伯克利分校求學期間進行器件測試實驗。

10納米工藝相當于可在一根頭發絲的截面上制作出50萬個晶體管，這種微納加工技術是衡量國家高端制造業水平的標志之一。伴隨柔性微機電系統需求的日益增長，傳統微納加工技術又增加了“柔性”需求。上海交通大學機械與動力工程學院副教授胡開明日前對澎湃科技（www.6773257.com）表示，柔性微納制造技術是當下國家極端制造重大戰略需求的關鍵技術，未來信息芯片、新型裝備、光電器件均有賴于該源頭性基礎技術。

今年8月，胡開明入選“上海科技青年35人引領計劃”獲獎名單，他所從事的“光激勵下表面失穩結構控形控性研究”可發展為一種既非減材制造也非增材制造的新型柔性微納加工技術，為我國突破光刻技術封鎖提供了新的技術路線。

未來信息芯片的源頭基礎技術

微納加工技術是衡量國家高端制造業水平的標志之一，區別于傳統機械加工毫米級的尺寸量級，微納加工是制造微米和納米尺寸量級微小結構的加工技術，尺寸范圍在200微米以下到納米甚至亞納米級別。這一加工技術起源于微電子，人們常提到的5納米芯片、3納米芯片就是運用平面微納加工工藝制成。光刻、刻蝕、沉積是芯片制造中的三大關鍵工序，也是微納加工涉及到的三大加工工藝。但眼下我國這三大技術都面臨關鍵設備被卡脖子、技術封鎖自研困難局面。與此同時，柔性可穿戴設備等柔性微機電系統的需求日益增長，對傳統微納加工技術提出新的挑戰，傳統微納技術針對的是硅基硬質材料的制造。材料屬性不同，器件的加工原理和方法自然就要變革。

柔性微納制造技術成為當下國家極端制造重大戰略需求的關鍵技術，未來信息芯片、新型裝備、光電器件均有賴于該源頭性基礎技術。

胡開明團隊的研究為柔性微納制造技術的研發找到了一個新的突破口。“我們發現光可以控制表面失穩，我們沿用了光刻原理，在紫外光的誘導下發生表面失穩，利用光控的表面失穩結構把材料從A位置變到B位置，通過材料的定向移動讓材料自己跟自己組裝，最后堆成我們想要的微結構甚至鈉結構。”胡開明表示，這種表面失穩力學研究在光刻技術、功能器件等方面有著重要應用價值。光激勵下表面失穩結構控形控性研究可發展為一種新型微納結構的軟光刻技術，為我國突破光刻技術封鎖提供新的技術路線。軟光刻技術用彈性模代替了傳統光刻中硬模，具有高效、低成本、可制造三維結構等優點，廣泛應用于航空航天、柔性電子、生物科學等領域。

柔性微納加工技術的新方向

2011年從中南大學機械工程專業畢業后，胡開明進入上海交通大學機械工程專業碩博連讀。博士階段的最后兩年，他前往美國加州大學伯克利分校機械系完成聯合培養。在那里，他認識到微納加工技術的起源與發展。2017年回國后，胡開明開始反思能否結合機械學科的特點開發出新的微納加工技術。

國際上，柔性微納制造技術主要包括納米壓印技術和3D、4D打印技術。上世紀90年代提出的納米壓印技術利用光刻膠輔助將模板上的微納結構通過刻蝕傳遞工藝轉移到待加工材料上。“原先硅片是毫米級的，通過刻蝕等各種方法把尺度減到微米甚至納米級。”胡開明表示，這種減材制造將材料逐步減小，達到目標尺度。而3D打印和4D打印是一種增材制造技術，“原來的材料是原子級、分子級的，一點點累積疊加材料，生成目標物體。”

“納米壓印技術國內做了很多年，但仍處于跟隨狀態，3D打印和4D打印是國外首創，如果跟隨已有柔性微納制造技術，對我們年輕人來說，創新性不足。”力學出身的胡開明前期利用光刻、刻蝕等傳統微納加工技術制造器件時發現，光可以控制表面失穩，摸索一陣后又發現這可以制成微納結構，于是他大膽提出了一種既非減材制造也非增材制造的新型柔性微納加工技術，也就是表面失穩引導的力學自組裝技術。

表面失穩結構控形控性的研究不僅為我國突破光刻技術封鎖提供新的技術路線，還可以提高光通信加密的安全等級。胡開明介紹說，“我們基于表面失穩做了一些微納結構，光在微納結構里會發生反射、折射和衍射，人為控制光的反射、折射和衍射可以改變光的傳播方向、強度、波長。”目前他和團隊正基于表面失穩引導的力學自組裝技術探索開發柔性光柵，實現光操縱，未來可用于光編碼加密技術、光操縱等信息安全領域，“相對于靜態光柵，近紅外調控的動態衍射光柵具有動態原位調節和切換等優勢，可顯著提高光通信加密的安全等級。”

胡開明表示，可編程光控自組裝結構形成機理、力學設計理論與其在微納制造技術應用研究是當前微納尺度力學領域的研究熱點與難點，是亟需解決的前沿性基礎科學問題。大面積、高準直度、有序自組裝結構設計和制造也是關鍵性微納技術問題。此外，微納自組裝結構控形控性研究可突破力學、機械、材料學之間學科壁壘，促進多學科交叉融合創新。

從懷疑人生到堅定方向

獨自待在實驗室10小時也能坐得住，胡開明享受琢磨新技術的過程，他覺得自己是適合做科研的性格。回憶起自己的科研經歷，本科階段，胡開明明確了讀研目標，但那時候的他并不明白讀研和科研的區別。進入上海交通大學后，導師告訴他，博士階段一定要完成“華麗轉身”，從工程項目思維轉換成科學問題思維，發現一個科學問題。摸索過程中，他越來越喜歡科研。琢磨出第一篇SCI（《科學引文索引》，美國科學信息研究所創建的一部國際性的檢索刊物）論文的靈感后，“當天晚上就在小本本上記下來，晚上興奮得睡不著覺。”

國內的求學經歷以力學理論為主，國外開始接觸設備、實驗和工藝，這對胡開明來說是180度大轉變。雖然他知道這是1+1>2，但胡開明仍然覺得自己“格格不入”，“他們講的很多東西我完全不懂。”他甚至開始懷疑人生，質疑自己是否適合科研。

最終他調整心態，花了三個月狂補微納加工領域的經典教材和專著，筑牢基礎后信心倍增。經過兩年時間沉心補習基礎課，他的理論知識與工藝技能融合。在加州大學伯克利分校時，胡開明用微納加工技術制備出一個指紋識別器件。

盡管博士階段對微納加工技術的認知薄弱，但對微納機電系統的力學分析為他的微納加工技術學習和創新打下理論基礎，胡開明感慨，“博士階段理論一定要扎實，后勁才會足。”但他也曾經歷過迷茫。博士即將畢業時，未來究竟要選擇什么方向？是躺在以前的舒適區，還是在無人區邁出新一步？胡開明也一度找不到答案。直到2017年博士快畢業時，他終于找到了科研方向和前行動力。“我國在微納加工領域面臨很多沒有解決的關鍵科學問題和技術問題。年輕人應該做一些事，把這個領域往前推進小小一步。”

胡開明表示，學科交叉有利于創新，解決卡脖子難題，要在結合自身特長、保持核心競爭力的基礎上選擇熱愛的科研方向，找到科研的意義，才能夠長期堅持坐冷板凳。“堅持1000個小時可以入門，堅持10000小時會成為領域專家。”目前其研發的表面失穩結構特征尺寸在10納米級別，胡開明表示，未來將從材料、工藝角度探索研發5納米甚至3納米的更小尺度結構。同時扎根應用，制造1-2個器件開展系統性研究，將表面失穩引導的力學自組裝技術落地在光操縱領域，并將技術集成實現裝備化，“我們不想讓這個技術只是躺在幾個專利、幾篇論文上。”

（編者注：本文系澎湃科技與上海科技聯合推出的“正自廣闊：上海科技青年35人引領計劃追光報道”系列之一。敬請垂注更多后續報道。）